真空设备检漏的注意事项

1真空设备设计中的注意事项1、根据设备的工艺要求,确定真空设备的总的最大允许漏率,并依据这一总漏率确定各组成部件的最大允许漏率。2、根据设备的最大允许漏率等指标,在设计阶段就初步确定将要采用的检漏方法...

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